12A勻膠機(jī)和無(wú)油真空泵

此照片拍攝于臺(tái)灣島內(nèi)，感謝臺(tái)灣客戶的信任！

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使用方法：先按紅色按鈕，再按綠色按鈕，啟動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，再學(xué)習(xí)怎樣修改速度代號(hào)V和修改時(shí)間T

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概述

12系列包含單頭、多頭，單速、多速等系列產(chǎn)品，滿足客戶不同需求。

12A勻膠機(jī)主要用于光刻膠涂布、涂硼等工藝過(guò)程，該設(shè)備具有勻膠效率高，使用方便等特點(diǎn)。其勻膠速度、時(shí)間分多個(gè)時(shí)段，并分別無(wú)級(jí)可調(diào)。

電器線路可靠，電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，特別是電機(jī)轉(zhuǎn)矩大，優(yōu)于同類產(chǎn)品。

吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率。

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主要技術(shù)參數(shù)

1、工作電源? ? ?AC220V? 50Hz

2、電源功率? ? ?200W

3、裝片直徑? ? ?選擇10/20/30……250mm

4、 4個(gè)速度、時(shí)間段(1V、2V、3V、4V，T000)記憶

5、 八組程序（A1-A8）記憶

6、加速一致性（誤差）±1%

7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度? ±1%

9、勻膠時(shí)間? ? 每一段0-254秒，每組四段

10、速度范圍? ?100-7000 ,50轉(zhuǎn)一檔

11、外形尺寸? ?250x300x300mm

12、重量? ? ? ?勻膠機(jī)11KG，選配件真空泵5KG

12A勻膠機(jī)基本畫面顯示解讀

【工藝參數(shù)】[PROG]鍵? ?循環(huán)顯示? “A1”“A2”。。。。。?！癆8”。

【運(yùn)行修改】[FN]鍵? “AUTO”自動(dòng)運(yùn)行畫面，“EDIT”改變速度和時(shí)間畫面 。? ?KUTO K1? ---K8 (速度修正方式)，KUTO畫面下，按＋即可加速,再按一次向下箭頭，即可記憶

在“EDIT”（AUTO）畫面下，? 按【↑ 】（或者【↓】）移動(dòng)光標(biāo)

? ? ?“1V0100? T005”? ?注解：第一階段，速度100轉(zhuǎn)每分鐘，時(shí)間T=5秒“2V1200? T005”

“3V2400? T015”

? ? ?“4V3000? T015”? 注解：第四階段，速度3000轉(zhuǎn)每分鐘，時(shí)間15秒。

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 速度范圍 V=0200-7000,時(shí)間T=0-240秒(特殊2500秒）

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 用不到的階段，速度和時(shí)間設(shè)為V0200，T000

可以用? 【+】【-】? 鍵， 改變?cè)O(shè)定的速度（50轉(zhuǎn)一檔100-7000），

時(shí)間 （0-254秒）（特殊時(shí)間2500秒）。? ? ? ? ? ? ?

需要修改程序結(jié)束后的真空釋放時(shí)間，防止最后飛片，或者需要盡快結(jié)束釋放真空

需要腳踏啟動(dòng)，自動(dòng)打開(kāi)真空閥；

需要加速度調(diào)節(jié)，大小輕重物品全適應(yīng)；

需要微調(diào)轉(zhuǎn)速，使實(shí)際轉(zhuǎn)速與設(shè)定值相同，使用K1-K8，KUTO模式；

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操作步驟

接通外部真空系統(tǒng)，接通外電源，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，用【工藝參數(shù)】鍵，選擇“A1”，若需要修改速度和時(shí)間，按一下【運(yùn)行修改】鍵，結(jié)合【↑】【↓】鍵,再用【+】【-】鍵調(diào)速度和時(shí)間至工藝要求，若有實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差，有微調(diào)的辦法。

放基片于吸盤中心處，打開(kāi)紅色真空開(kāi)關(guān)，檢查基片是否吸牢，（嚴(yán)禁對(duì)小于吸盤抽氣槽外圓的基片涂膠）。將適量光刻膠滴于基片中心處，按下綠色勻膠開(kāi)關(guān)，。。。。。。(有異常情況，可按一下綠色的勻膠啟動(dòng)按鈕，吸盤將停止)等待電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)后，關(guān)閉真空、取片。

3.? ?根據(jù)光刻膠的粘度和工作環(huán)境溫度選擇適當(dāng)轉(zhuǎn)速，一般勻膠時(shí)間大約5~20秒之間。

4.? ?將勻過(guò)膠的玻璃片立放在玻璃卡盤上放入金屬盒中，根據(jù)膠的要求放入溫箱進(jìn)行前烘，一般的光刻膠前烘溫度90℃30分鐘。

5.? ?勻膠機(jī)必須關(guān)閉上蓋后啟動(dòng)、勻膠機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)嚴(yán)禁用手觸摸。用手去抓勻膠機(jī)吸盤，能導(dǎo)致本機(jī)保護(hù)，需返廠處理，請(qǐng)知悉。

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注意事項(xiàng)

嚴(yán)禁對(duì)小于吸盤抽氣槽外圓的基片涂膠。設(shè)備用完請(qǐng)取下吸盤，防止膠液黏住吸盤

定期清理接膠盤中的膠液，防止液位過(guò)高，灌入電機(jī)。

根據(jù)具體工作環(huán)境，定期檢查真空管路，定期清理電磁閥，使機(jī)器保持正常狀態(tài)。

檢修時(shí)應(yīng)切斷電源?。?！

吸盤選擇原則：

成套供應(yīng)單

勻膠機(jī)主機(jī)一臺(tái)，接膠鍋一只，配套吸盤2只，我公司有配套的真空泵。