曝光方式

LED蠅眼曝光：

＊采用高強度LED燈。

＊曝光面積：≤ф230mm

＊光的不均勻性在φ230mm范圍內(nèi)≤±10%；曝光強度≥40mW/cm2可調(diào)

＊紫外光束角≤3°

＊紫外光中心波長365nm、404nm、435nm可選＊紫外光源壽命：≥2萬小時

技術指標

1、配置壹件承片臺。（承片臺具體尺寸可根據(jù)用戶需求制造）

2、分辨率≥5μm 

3、具備真空吸片功能

4、具有真空密著和反吹氣的功能，通過調(diào)節(jié)密著真空的大小可以實現(xiàn)硬接觸曝光（密著真空≤-0.05 Mpa）、軟接觸曝光(密著真空在-0.05Mpa～-0.02Mpa之間)和微力接觸曝光（密著真空≥-0.02Mpa）

主要配置

＊多點光源曝光頭1臺、曝光類型：一次性曝光

＊曝光面積：≥φ230mm                     ＊曝光不均勻性：≤±10%

＊曝光強度：≥5mw                         ＊曝光分辨率：≤5μm

＊曝光模式：單面曝光

＊掩膜版尺寸： 3″、4″、5″、6″、7″、8″、9″

＊基片厚度：≤5 mm                         ＊曝光燈功率：350W

＊曝光定時：0～999.9秒可調(diào)              ＊電源：單相AC 220V 50Hz功耗≤1kW

＊潔凈壓縮空氣壓力：≥0.4Mpa              ＊真空度：-0.07Mpa～-0.09Mpa

＊尺寸：700×650×1200 (L×W×H)mm

＊重量：～110kg                        ＊輔助配件：真空泵一臺，φ8氣管15米